クリーンFA事業 CLEAN Factory Automation

クリーンルーム内搬送の先進技術
半導体工場を支える

特徴 Features

  • 世界シェアを争う先進の半導体搬送システム
  • 世界有数の半導体メーカーがクライアント
  • 超大規模案件を動かす設計・施工力
クリーンFA事業部の紹介動画を見る
オンラインショールーム見学
CLEAN Factory Automation

業界でのポジション

世界でも数社しかない
半導体搬送のシステムインテグレーター

クリーンFA事業では、半導体製造が行われるクリーンルーム内での搬送システムを提供しています。微細なチリすら許されない環境で、24時間365日稼働し続ける信頼性の高いシステムを構築。グローバル市場でも希少な搬送システムインテグレーターの一社として、業界トップクラスのシェアを獲得しています。世界有数の半導体メーカーを主要クライアントに、「産業の米」と言われる半導体市場の成長を通じて、社会基盤を支える重要な役割を果たしています。

技術的強み

非接触給電と制御技術で
高い信頼性を獲得

半導体工場の搬送システムには、チリやホコリを発生させない非接触給電やリニアモーター走行、混雑を避ける渋滞制御や最適経路探索など、難易度の高い技術が求められます。ムラテックは1985年に自社クリーンルームを建設し、天井搬送システムの開発に着手して以来、つねに新技術を取り込みお客さまのニーズに沿った自動化システムを構築。高精度な制御と堅牢な設計を組み合わせ、世界トップクラスのシェアを維持しています。半導体製造の高速化・高効率化に直結するソリューションを提供できる点は、グローバル市場でも数少ない強みであり、半導体市場の最前線で躍進するお客さまを支え続けています。

製品

半導体製造を支える多彩な搬送ソリューション

クリーンFA事業の代表的な製品には、半導体製造の要となる「天井走行式自動搬送システム」があります。工場全体を走行する数千台規模の搬送台車が、半導体の材料となるシリコンウエハを加工装置へ自動搬送し、24時間ノンストップの生産体制を支えています。また「保管・バッファ装置」は各工程のタイミングを調整し、生産効率を最大化。さらにこれらの製品群は、世界的な半導体メーカーに導入され、拡大する市場における製造拠点の競争力を強化しています。

シリコンウエハ

当社の搬送システムで運ばれる半導体の基板素材。デリケートで高度な搬送技術が求められる。

天井走行式自動搬送システム

工場全体を結ぶ動脈として、材料のシリコンウエハを格納したケースを工程間に搬送する。

保管システム・バッファ機器

工程間の待機時間を吸収し、生産ラインの流れを円滑に保つ装置。